Μέθοδος επιλογής αντλίας κενού
Όταν επιλέγετε μια αντλία κενού, πρέπει να δώσετε προσοχή στα ακόλουθα θέματα:
1. Η πίεση λειτουργίας της αντλίας κενού πρέπει να πληροί τις τελικές απαιτήσεις κενού και πίεσης εργασίας του εξοπλισμού κενού. Για παράδειγμα, η επίστρωση κενού απαιτεί βαθμό κενού 110-5mmHg και ο βαθμός κενού της επιλεγμένης αντλίας κενού πρέπει να είναι τουλάχιστον 510-6mmHg. Συνήθως, ο βαθμός κενού της αντλίας επιλέγεται να είναι κατά το ήμισυ έως μια τάξη μεγέθους υψηλότερος από τον βαθμό κενού του εξοπλισμού κενού.
2. Επιλέξτε σωστά το σημείο εργασίας της αντλίας κενού. Κάθε αντλία έχει ένα συγκεκριμένο εύρος πίεσης λειτουργίας, όπως: η αντλία διάχυσης είναι 10-3~10-7mmHg, σε ένα τόσο μεγάλο εύρος πίεσης, η ταχύτητα άντλησης της αντλίας αλλάζει ανάλογα με την πίεση και η σταθερή λειτουργία της Το εύρος πίεσης είναι 510-4 ~510-6mmHg. Επομένως, το σημείο εργασίας της αντλίας θα πρέπει να επιλέγεται εντός αυτού του εύρους και δεν επιτρέπεται να λειτουργεί για μεγάλο χρονικό διάστημα κάτω από 10-8mmHg. Ένα άλλο παράδειγμα είναι ότι η αντλία εξάχνωσης τιτανίου μπορεί να λειτουργήσει κάτω από 10-2mmHg, αλλά η πίεση λειτουργίας της θα πρέπει να είναι μικρότερη από 110-5mmHg.
3. Υπό την πίεση λειτουργίας της, η αντλία κενού θα πρέπει να μπορεί να αφαιρεί όλο το αέριο που παράγεται κατά τη διαδικασία του εξοπλισμού κενού. 4. Συνδυάστε σωστά την αντλία κενού. Λόγω της επιλεκτικής άντλησης των αντλιών κενού, μερικές φορές ένας τύπος αντλίας δεν μπορεί να καλύψει τις απαιτήσεις άντλησης και πολλές αντλίες πρέπει να συνδυαστούν για να αλληλοσυμπληρωθούν για να καλύψουν τις απαιτήσεις άντλησης. Για παράδειγμα, η αντλία εξάχνωσης τιτανίου έχει υψηλή ταχύτητα άντλησης για το υδρογόνο, αλλά δεν μπορεί να αντλήσει ήλιο, ενώ η τριπολική αντλία ιόντων διασκορπισμού (ή η διπολική αντλία ιόντων ασύμμετρης καθόδου) έχει μια συγκεκριμένη ταχύτητα άντλησης για αργό. Σε συνδυασμό, η συσκευή κενού θα αποκτήσει καλύτερο βαθμό κενού. Επιπλέον, ορισμένες αντλίες κενού δεν μπορούν να λειτουργήσουν υπό ατμοσφαιρική πίεση και απαιτούν προ-κενό. Ορισμένες αντλίες κενού έχουν πίεση εξόδου χαμηλότερη από την ατμοσφαιρική πίεση και απαιτούν μπροστινή αντλία, επομένως πρέπει όλες να χρησιμοποιούνται σε συνδυασμό.
5. Απαιτήσεις για ρύπανση από πετρέλαιο εξοπλισμού κενού. Εάν ο εξοπλισμός απαιτείται αυστηρά να είναι χωρίς λάδια, θα πρέπει να επιλέγονται διάφορες αντλίες χωρίς λάδι, όπως: αντλία δακτυλίου νερού, αντλία προσρόφησης μοριακού κόσκινου, αντλία ιόντων εκτόξευσης, κρυογονική αντλία κ.λπ. Εάν οι απαιτήσεις δεν είναι αυστηρές, μπορεί να επιλέξει μια αντλία λαδιού, καθώς και ορισμένα μέτρα κατά της ρύπανσης από πετρέλαιο, όπως η προσθήκη παγίδων κρύου, διαφραγμάτων, παγίδων λαδιού κ.λπ., μπορεί επίσης να ικανοποιήσει τις απαιτήσεις καθαρού κενού.
6. Κατανοήστε τη σύνθεση του αντλούμενου αερίου, εάν το αέριο περιέχει συμπυκνώσιμο ατμό, εάν υπάρχει σκόνη σωματιδίων, εάν είναι διαβρωτικό κ.λπ. Όταν επιλέγετε μια αντλία κενού, πρέπει να γνωρίζετε τη σύνθεση του αερίου και να επιλέξετε την αντίστοιχη αντλία για την αέριο που θα αντληθεί. Εάν το αέριο περιέχει ατμούς, σωματίδια και διαβρωτικά αέρια, θα πρέπει να ληφθεί υπόψη η εγκατάσταση βοηθητικού εξοπλισμού όπως συμπυκνωτές, συλλέκτες σκόνης κ.λπ. στον αγωγό εισόδου της αντλίας.
7. Πώς επηρεάζουν το περιβάλλον οι ατμοί λαδιού που απορρίπτονται από την αντλία κενού; Εάν το περιβάλλον δεν επιτρέπει τη ρύπανση, μπορείτε να επιλέξετε μια αντλία κενού χωρίς λάδι ή να εκκενώσετε τους ατμούς του λαδιού προς τα έξω.
8. Εάν η δόνηση που δημιουργείται από την αντλία κενού έχει κάποια επίδραση στη διαδικασία και στο περιβάλλον. Εάν η διαδικασία δεν το επιτρέπει, επιλέξτε μια αντλία χωρίς κραδασμούς ή λάβετε αντικραδασμικά μέτρα.
9. Η τιμή, το κόστος λειτουργίας και συντήρησης της αντλίας κενού.